潔凈室幾乎用于每個(gè)小顆粒都會(huì )對制造過(guò)程產(chǎn)生不利影響的行業(yè)。它們的大小和復雜程度各不相同，廣泛應用于半導體制造，制藥，生物技術(shù)，醫療設備和生命科學(xué)等行業(yè)，以及航空航天，光學(xué)，軍事和能源部常見(jiàn)的關(guān)鍵工藝制造。

一、潔凈室概述

   潔凈室是任何給定的容納空間，其中規定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數，例如溫度，濕度和壓力。關(guān)鍵部件是高效微粒空氣（HEPA）過(guò)濾器，用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過(guò)HEPA過(guò)濾器，在某些需要嚴格清潔性能的情況下，使用超低顆粒空氣（ULPA）過(guò)濾器。

   選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓。他們通過(guò)氣閘，空氣淋浴和/或更衣室進(jìn)入和離開(kāi)潔凈室，他們必須穿著(zhù)特殊的衣服，以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。

  根據房間的分類(lèi)或功能，人員的衣服可能與實(shí)驗室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限，或者與多層兔子套裝完全包裹在一起，并配有自給式呼吸器。潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著(zhù)者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆粒或纖維，以防止人員污染環(huán)境。這種類(lèi)型的人員污染會(huì )降低半導體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能，并且例如可能導致醫務(wù)人員和醫療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。潔凈室服裝包括靴子，鞋子，圍裙，胡須套，蓬松帽，工作服，面罩，連衣裙/實(shí)驗室外套，禮服，手套和手指套，發(fā)網(wǎng)，頭套，袖子和鞋套。使用的潔凈室服裝類(lèi)型應反映潔凈室和產(chǎn)品規格。低級潔凈室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不會(huì )跟蹤灰塵或污垢。但是，鞋底不得產(chǎn)生滑倒危險，因為安全總是優(yōu)先考慮。進(jìn)入潔凈室通常需要潔凈室服。10,000級潔凈室可以使用簡(jiǎn)單的罩衫，頭套和短靴。對于10級潔凈室，需要小心的長(cháng)袍穿著(zhù)程序，并配有拉鏈蓋，靴子，手套和完整的呼吸器外殼。

二、潔凈室空氣流量原理

潔凈室通過(guò)使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過(guò)濾器來(lái)維持無(wú)顆粒空氣。層流或單向氣流系統以恒定流量向下引導過(guò)濾空氣。層流氣流系統通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的單向流動(dòng)。層流標準通常在便攜式工作站（LF罩）中說(shuō)明，并且在ISO-1至ISO-4分類(lèi)潔凈室中是強制性的。

適當的潔凈室設計包括整個(gè)空氣分配系統，包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動(dòng)室中，這意味著(zhù)在區域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動(dòng)應用中，它需要在過(guò)程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當的潔凈室系統設計相矛盾。

三、潔凈室分類(lèi)

潔凈室按空氣清潔程度分類(lèi)。在美國的聯(lián)邦標準209（A至D）中，在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數，并且該計數用于對潔凈室進(jìn)行分類(lèi)。該標準的最新209E版本也接受該度量標準。聯(lián)邦標準209E在國內使用。較新的標準是國際標準組織的TC 209。這兩個(gè)標準都根據實(shí)驗室空氣中的顆粒數量對潔凈室進(jìn)行了分類(lèi)。潔凈室分類(lèi)標準FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計數測量和計算，以對潔凈室或潔凈區域的清潔度水平進(jìn)行分類(lèi)。在英國，英國標準5295用于對潔凈室進(jìn)行分類(lèi)。該標準即將被BS EN ISO 14644-1取代。

潔凈室根據每單位空氣允許的顆粒數量和大小進(jìn)行分類(lèi)。諸如“100級”或“1000級”的大數字指的是FED_STD-209E，并且表示每立方英尺空氣允許的0.5mm或更大尺寸的顆粒的數量。該標準還允許插值，因此可以描述例如“類(lèi)2000”。

小數字指的是ISO 14644-1標準，它規定了每立方米空氣允許的0.1微米或更大顆粒數的十進(jìn)制對數。因此，例如，ISO 5級潔凈室每m最多105 = 100,000個(gè)顆粒。

FS 209E和ISO 14644-1都假定粒徑和粒子濃度之間的對數 - 對數關(guān)系。因此，沒(méi)有零粒子濃度這樣的東西。普通室內空氣大約為1,000,000或ISO 9。